Thermische Infrarotmikroskopie (TIM)
Die Miniaturisierung schreitet in vielen Industriebranchen, insbesondere
in der Elektronikindustrie, voran. Damit steigen auch die Qualitätsanforderungen an die Bauteile - die zerstörungsfreie Prüfung ist nur mit hoch ortsauflösenden IRIR
Abkürzung für Infrarot-Systemen möglich.
Die TIMTIM
Thermische IR-Mikroskopie IRIR
Abkürzung für Infrarot-Kamera verfügt über sehr kleine Detektorpixel und eine hohe Zeilen- und Spaltenzahl. Mit speziellen Mikroskop-Optiken ist so eine räumliche Auflösung bis 3 µm zu erzielen.
Dies leistet die thermische IR-Mikroskopie:
- Ortsauflösung bis 3 µm, mit Festkörperimmersionslinse (SIL) 1 µm
- TemperaturauflösungTemperaturauflösung
kleinster unterscheidbarer Temperaturunterschied (NETD) bis < 10 µK - Echtzeit-Lock-in und laufzeitoptimierte Algorithmen für verbesserte thermische und räumliche Auflösung
- Messung von Stromdichten ("Hot Spots") bei Halbleiter-Bauelementen, die zum Frühausfall führen oder den Wirkungsgrad mindern
- Oberflächeninspektion metallischer Bauteile und technischer Folien (Mikro-Loch-Erkennung)