ELITE (Enhanced Lock-in Thermal Emission) für die Mikroelektronik
Unser System ELITE für mikroelektronische Bauteile umfasst typischerweise
- eine leistungsstarken gekühlten IRIR
Abkürzung für Infrarot-Kamera mit Mikroskop-
objektiv(en), - eine Steuerungseinheit mit passender Software sowie
- eine passende Spannungsquelle zur thermischen Anregung
der Bauteile.
Hervorragende Temperaturauflösung
In fehlerhaften mikroelektronischen Bauteilen gibt es häufig Bereiche mit lokal erhöhten Verlustleistungen. Jedoch ist der durch diese Fehler verursachte lokale Temperaturanstieg in heutigen elektronischen Bauteilen meist sehr klein (< 1-2 mK). Die TemperaturauflösungTemperaturauflösung
kleinster unterscheidbarer Temperaturunterschied (NETD) der empfindlichsten gekühlten IRIR
Abkürzung für Infrarot-Kameras liegt bei ca. 10 - 30 mK und somit signifikant höher.
Um dennoch Defekte in elektronischen Bauteilen mit einem TemperaturTemperatur
Maß für thermische Energiedichte-anstieg < 1 mK detektieren zu können, wird das Lock-in-Prinzip zur Steigerung der TemperaturauflösungTemperaturauflösung
kleinster unterscheidbarer Temperaturunterschied (NETD) angewendet. Dabei werden die Bauteile periodisch angeregt (z. B. mittels Spannungsquelle bzw. Lichtquelle) und die IRIR
Abkürzung für Infrarot-Bilddaten über mehrere Perioden erfasst und miteinander verrechnet (sog. Lock-in-IRIR
Abkürzung für Infrarot-Thermographie). Dadurch lässt sich über eine Erhöhung der Messzeit die TemperaturauflösungTemperaturauflösung
kleinster unterscheidbarer Temperaturunterschied (NETD) signifikant steigern: von < 1 mK nach einigen Sekunden bis auf < 10 µK nach einigen Stunden. Je nach Beschaffenheit des Bauteils entsprechen 10 µK einer lokalen Verlustleistung von ca. 1-10 µW.
Kurze Messdauer
Im Gegensatz zu vielen anderen Systemen werden die Lock-in-Korrelationen (Phase und Amplitude) für jedes PixelPixel
einzelnes Detektorelement bereits während der Bildaufnahme in Echtzeit berechnet. Das reduziert nicht nur die durchschnittliche Messdauer, es ermöglicht auch den fertigungsintegrierten Prüfbetrieb.
Sehr gute Ortsauflösung
In Kombination mit speziellen Objektiven und Linsen beträgt die Ortsauflösung von Thermosensorik IRIR
Abkürzung für Infrarot-Kamerasystemen 1 µm - 5 µm. Jedoch können mittels Lock-in auch Defekte im Nanometerbereich detektiert werden, da die thermische Diffusion wie eine Defektvergrößerung wirkt. Damit eignet sich das ELITE-System von Thermosensorik GmbH speziell zum Nachweis von kleinen Defekten mit sehr geringer Verlustleistung, wie sie z. B. bei mikroelektronischen Bauteilen und Solarzellen häufig auftreten.